第五十二章 螺旋
书名:重生:我去美国继承遗产 作者:哦果然是抽不开
第五十二章 螺旋
1983年9月,深夜。暁税cms 已发布蕞薪章节
食堂的大师傅早就把那两头猪杀了,红烧肉的香味飘满了整个厂区。但洁净室里的这帮人,一口都没吃上。
没有人有胃口。
那台刚刚组装好的“缝合怪”光刻机,此时正在发脾气。
“滋——滋——滋——”
安川电机发出一种短促、焦躁的尖叫声。工件台像只没头的苍蝇,在底座上毫无规律地乱撞。一会儿向左猛冲,一会儿向右急停,那是逻辑混乱的表现。
“找不到!根本找不到!”
李明抓着自己乱糟糟的头发,那双厚底眼镜片上全是油汗,“林总,这机器是瞎的!z80发出的脉冲是出去了,但那个德国镜头传回来的信号全是杂波!根本分辨不出哪里是硅片,哪里是载物台!”
这是一个极其尴尬的局面。
硬体顶配,软体弱智。
这台机器现在就像是一个拥有了鹰眼(蔡司镜头)和猎豹腿(安川电机)的超人,但它的脑子里只有浆糊。它不知道对准标记长什么样,更不知道去哪里找。
在微米级的世界里,哪怕只偏离了1毫米,对于光刻机来说,也相当于在太平洋里找一根针。
“别慌。”
林青坐在一张折叠凳上,手里捏著一个冷馒头,没吃,只是无意识地掰著。
“陈工,咱们的对准原理是什么?”林青明知故问,他在引导这帮钻进牛角尖的技术狂人冷静下来。
“原理是暗场探测。”
陈默言深吸一口气,强迫自己镇定下来,指著黑板上的光路图:
“紫外光打下去,照在硅片上。兰兰闻学 已发布醉欣彰劫如果照到平地,光就反射走了;如果照到那个凸起的菲涅尔波带片,光就会发生衍射,折射回镜头里,触发感测器,产生一个电信号峰值。”
“理论上是这样。”李明带着哭腔,“可实际上,感测器一直是一条直线!偶尔跳一下,那是灰尘!”
“那就是没扫到。”林青把馒头屑扔进垃圾桶,拍了拍手。
“既然不知道它在哪,那就用最笨的办法——地毯式搜索。”
林青走到李明身后,看着那台绿屏的apple ii电脑。
“李工,把之前的s型加速代码先屏蔽掉。写一个新的子程序。”
“什么程序?”
“阿基米德螺旋线。”
林青的手指在屏幕上划了一个圈,然后一圈圈向外扩散。就像就像雷达扫描一样。”
“一边扫,一边采样。只要感测器电压超过阈值,立刻急停!锁死坐标!”
这在后世的算法里叫“全图搜索”,是效率最低、最笨的办法。但在1983年,在这个没有任何视觉识别算法辅助的荒蛮年代,这是唯一能让瞎子找到路的方法。
“螺旋扫描”李明愣了一下,随即眼睛亮了,“笨是笨了点,但绝不漏球!我这就写!”
又是三个小时的死寂。
只有键盘敲击声和偶尔传来的肚鸣声。
凌晨三点。代码烧录完毕。
“试机。”林青站起身,感觉腿都麻了。
“开始扫描。”李明按下了回车键。
“嗡————”
这一次,电机的声音变了。不再是焦躁的乱撞,而是一种持续的、稳定的、带有某种催眠韵律的低吟。
x轴和y轴的电机配合著,驱动工件台画出一个个不断扩大的同心圆。
所有人都围在示波器前。
那个小小的圆形屏幕,此刻就是他们的战场雷达。
一条绿色的光线,死气沉沉地趴在底部。那是基底杂讯。
一圈。两圈。三圈
时间一分一秒地过去。工件台已经从中心向外扩了五厘米。依然没有信号。
“是不是焦距没对准?”陈默言的声音开始发颤,“要是z轴高度不对,光斑是散的,就算扫到了也看不见啊!”
“别说话。”林青死死盯着屏幕,“信它。”
就在螺旋线画到第七圈的时候。
突然。
“滴!”
示波器上的那条死线,毫无征兆地向上跳动了一下。
虽然幅度很小,甚至淹没在了一半的噪点里,但在这些熬红了眼的人看来,那简直就是喜马拉雅山!
“有反应了!”雷铁柱没忍住,吼了一嗓子。
“别吵!”林青厉声喝止,“那是杂波还是真信号?李明,回退!再扫一遍!慢速!”
“是!”李明的手指飞快操作。
工件台停止了画圈,慢慢地倒退,回到了刚才那个坐标点附近。然后,以极慢的爬行速度,再次通过。
所有人的心脏都提到了嗓子眼。
绿色光点慢慢蠕动。
近了。近了。
就在光点经过那个坐标的一瞬间——
“波——”
示波器上,骤然升起了一个高耸的、尖锐的、完美的波峰。
那波峰如此陡峭,如此清晰,就像是黑暗大海中突然亮起的灯塔。
“抓住了!!!”
陈默言猛地跳起来,一把抱住旁边的雷铁柱,激动的说,“这是衍射峰!这就是对准标记!咱们的眼睛看见了!看见了!”
“锁死坐标!”林青大吼一声。
“已锁死!”李明狠狠砸下空格键。
电机发出一声清脆的“滋”,工件台瞬间冻结。
此时,机器的中心,正正好好停在了那枚只有50微米大小的对准标记上方。
但这还不够。
这是电子的眼睛看到的,还得让人眼确认。
“显微镜!”林青冲到机器旁。
这台gca经过改装,侧面保留了一个光学的观察目镜。那是给调试人员用的“肉眼通道”。
林青把眼睛贴在目镜上,手心里全是汗。
他在调整焦距。
视野里是一片模糊的淡紫色(抗蚀剂的颜色)。随着旋钮的转动,图像开始变得清晰。
慢慢地,一个熟悉的图案浮现了出来。
那是一个刻在硅片上的、由无数同心圆组成的十字靶标。
而在目镜的刻度中心,那个代表着镜头光轴的黑色十字丝,正正好好,不偏不倚,压在了那个靶标的圆心上。
重合(overlay)。
“呼”
林青长长地吐出一口浊气,整个人像是虚脱了一样,慢慢滑坐在地上。
他抬起头,看着周围那一张张虽然疲惫却狂喜的脸庞,看着那台还在微微嗡鸣的机器。
它不再是瞎子了。
在这套土得掉渣的“螺旋搜索”算法的指引下,在这套中日美德四国混血的硬体配合下,它终于在这个深市的雨夜里,第一次看清了它要雕刻的目标。
“林总,咱们是不是成功了?”苏澜小心翼翼地问,声音里带着不敢置信。
“算是一半吧。”
林青擦了一把额头上的冷汗,露出了那个标志性的、带着点野性的笑容。
“它能看见了,也能动了。”
“接下来,就是让它干活了。”
林青从地上爬起来,拍了拍身上那件昂贵的防尘服。
“陈工,别哭了。把那箱郭立行送来的‘垃圾晶圆’搬出来。”
“既然咱们的枪已经校准了,那就得找个靶子开两枪。”
“今晚不睡了。”
林青看着那束紫色的光,眼神灼灼:
“我要看看,这台被咱们魔改出来的怪物,到底能刻出多细的线条。”
“是骡子是马,该拉出来溜溜了。”